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J-GLOBAL ID：200903041445823574

プラズマ処理装置

Inventor： 石田 敏道 ,  山田 雄一郎 ,  滝澤 貴博 ,  田辺 浩
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996187212
Publication number (International publication number)：1998030185
Application date： Jul. 17, 1996
Publication date： Feb. 03, 1998
Summary：

【要約】【課題】 熱による上部電極兼用ガス噴出プレートの変形が無く、大型の基板のプラズマ処理が可能なプラズマ処理装置の提供。【解決手段】 減圧チャンバー1と、処理ガスをプラズマ化する一対の対向電極4、105と、処理ガス供給手段106及び高周波電源8と、電極4に設けられた被処理物2を加熱する加熱手段3とを有するプラズマ処理装置において、電極105側を、温度調節部材106aと、多数のガス噴出穴105aを等間隔に有する電極兼用ガス噴出プレート105と、前記両者間に挟まれて、処理ガス供給手段106の処理ガスを均圧化してガス噴出穴105aから噴出させる複数のガス均圧化空間109aを形成し、且つ、電極兼用ガス噴出プレート105の熱を温度調節部材106aに伝える格子形状の熱伝達部材109とで構成する。

Claim (excerpt)：

プラズマ処理すべき被処理物を収容して減圧するチャンバーと、前記チャンバー内にあって供給される処理ガスをプラズマ化する一対の対向電極と、前記一対の対向電極の一方に接続された処理ガス供給手段及び高周波電源と、他方の電極に設けられた前記被処理物を加熱する加熱手段とを有するプラズマ処理装置において、前記の処理ガス供給手段及び高周波電源を有する電極側を、温度調節手段を有する温度調節部材と、多数のガス噴出穴を等間隔に有する電極兼用ガス噴出プレートと、前記両者間に挟まれて、前記処理ガス供給手段から供給される処理ガスを均圧化して前記電極兼用ガス噴出プレートから噴出させる複数のガス均圧化空間を格子形状空間として形成すると共に、前記電極兼用ガス噴出プレートの熱を前記温度調節部材に伝える格子形状の熱伝達部材とで構成することを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (5)：

C23C 16/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (5)：

C23C 16/44 B ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/46 M