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J-GLOBAL ID:200903041447520862

粉末の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 渡邉 一平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998335858
Publication number (International publication number):1999314030
Application date: Nov. 26, 1998
Publication date: Nov. 16, 1999
Summary:
【要約】【課題】 粒度分布のシャープな粉末を得ることができる粉末の製造方法を提供する。【解決手段】 セラミック材料の前駆体となる液体を吐出して微小液滴を形成した後、微小液滴を加熱処理する。これにより、2次粒子径が10〜180μmで、その粒度分布が平均粒径に対して±10%以内に90%以上の粒子が存在するセラミック粉末を得る。液体噴射装置は、液体を噴射させる複数のノズル孔12が設けられたノズル部11に対して、ノズル孔12に対応する複数の液体加圧室15が設けられたポンプ部21を接合し、液体加圧室15の壁部の一部を圧電/電歪素子22によって変形させて液体加圧室15に圧力を生じさせることにより、液体加圧室15に供給される液体を、ノズル孔12から噴射させるようにした装置で、ノズル部11及びポンプ部21をジルコニアセラミックスで構成した。
Claim (excerpt):
セラミック材料の前駆体となる液体を吐出して微小液滴を形成した後、該微小液滴を加熱処理することにより、2次粒子径が10〜180μmで、その粒度分布が平均粒径に対して±10%以内に90%以上の粒子が存在するセラミック粉末を得ることを特徴とする粉末の製造方法。
IPC (5):
B01J 2/04 ,  B01J 19/00 ,  B05B 7/00 ,  C01B 13/34 ,  H01L 41/09
FI (5):
B01J 2/04 ,  B01J 19/00 N ,  B05B 7/00 ,  C01B 13/34 ,  H01L 41/08 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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