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J-GLOBAL ID：200903041456071140

金属複合酸化物薄膜の製造方法

Inventor： 吉田 政次 ,  ピエール・イブ ルセシェール ,  山口 弘
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993133047
Publication number (International publication number)：1994340978
Application date： Jun. 03, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 化学的気相堆積法によって反応特性の異なる金属アルコキシド化合物とβ-ジケトネート錯体を原料として金属複合酸化物薄膜を製造するにおいて薄膜特性の均一性を飛躍的に改善することができる金属複合酸化物薄膜の製造方法を提供する。【構成】 金属元素の揮発性アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物と金属元素の揮発性β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物および酸素ガスを原料ガスとして用いる化学的気相堆積法によるこれらの金属の複合酸化物薄膜製造方法であって、基板を回転させ、当該アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物は基板に向かって複数の分散された供給口を有する装置によって供給され、当該β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物は基板面とアルコキシド化合物ガス供給装置の供給口側が作り出す空間に横方向から向かう一つあるいは複数の原料供給口から供給されることを特徴とする金属複合酸化物薄膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

金属元素の揮発性アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物と金属元素の揮発性β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物および酸素ガスを原料ガスとして用いる化学的気相堆積法によるこれら金属の複合酸化物薄膜の製造方法であって、基板を回転させ、当該アルコキシド化合物あるいはそれらの混合物は基板に向かって複数の分散された供給口を有する装置によって供給され、当該β-ジケトナート錯体あるいはそれらの混合物は基板面とアルコキシド化合物ガス供給装置の供給口側が作り出す空間に横方向から向かう一つあるいは複数の原料供給口から供給されることを特徴とする金属複合酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3)：

C23C 16/40 ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/316