堆積膜形成方法及び堆積膜形成装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長尾達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999166600
Publication number (International publication number)：2000073173
Application date： Jun. 14, 1999
Publication date： Mar. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】基体以外に付着した膜等の生成物が基体へ飛散することを防止して、膜厚および膜質が均一な堆積膜を定常的に形成し、画像欠陥を激減しうること、また、膜の諸物性、堆積膜形成速度、再現性及び膜の生産性を向上させ、歩留まりを飛躍的に向上させることが可能な堆積膜形成方法及び装置を提供すること。【解決手段】補助基体に装着した基体の上部に補助基体キャップを設け、減圧気相成長法により、該基体の表面に堆積膜を形成するに際して、該基体の上端部における温度と、該基体の上部に設けられている該補助基体キャップの下端部における温度との最大温度差が、所定以下となるようにして該補助基体キャップに堆積する堆積膜の密着性を向上させ、堆積膜を形成する。

Claim (excerpt)：

補助基体に装着した基体の上部に補助基体キャップを設け、減圧気相成長法により、該基体の表面に堆積膜を形成する堆積膜形成方法において、該基体の上端部における温度と、該基体の上部に設けられている該補助基体キャップの下端部における温度との最大温度差が、所定以下となるようにして該補助基体キャップに堆積する堆積膜の密着性を向上させ、堆積膜を形成することを特徴とする堆積膜形成方法。

IPC (3)：

C23C 16/44 , G03G 5/08 360 , H01L 21/205

FI (3)：

C23C 16/44 J , G03G 5/08 360 , H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-087372
電子写真感光体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-325155 Applicant：キヤノン株式会社
電子写真感光体の製造方法及び該製造方法に用いられる治具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-304453 Applicant：キヤノン株式会社

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