送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996237502
Publication number (International publication number)：1997137855
Application date： Sep. 09, 1996
Publication date： May. 27, 1997
Summary：

【要約】【課題】送りねじにおいて、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿命を達成できるようにすること。【解決手段】ねじ軸1と、それに螺合されるナット2と、ねじ軸1とナット2との螺合部位に介装される複数の転動体3とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜5が形成されている。この固体膜5は、その分子間がウレタン結合となっていて3次元の網状構造になっているので、剥離や欠落の他、摩耗が抑制される。

Claim (excerpt)：

ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。

IPC (7)：

F16H 25/24 , F16H 25/22 , C08G 18/50 NEB , C09D175/04 PHR , H01L 21/68 , C10M107:40 , C10N 40:06

FI (5)：

F16H 25/24 J , F16H 25/22 D , C08G 18/50 NEB , C09D175/04 PHR , H01L 21/68 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

半導体製造設備用ボールねじ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-104384 Applicant：エヌティエヌ株式会社

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