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J-GLOBAL ID：200903041489918629

形状検出装置

Inventor： 吉村 一成 ,  中村 国法
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991281731
Publication number (International publication number)：1993118826
Application date： Oct. 28, 1991
Publication date： May. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】精度の高い形状検出を可能とする。【構成】検査用の投光手段1で被検査物体X上を走査させて検査用ビームを投光する。検査用ビームの被検査物体Xによる反射光を受光手段2で受光する。投光手段1と受光手段2とを一定距離だけ離して配置する。上記検査用ビームの反射光の入射角変化を位置検出器3で検出する。この位置検出器3の出力に基づいて被検査物体Xの形状を検出する。監視用ビームを上記検査用ビームに一定距離だけ先行させて被検査物体Xに投光する監視用の投光手段4を設ける。この監視用ビームを検査用の投光手段1の光学系を用いて被検査物体X上を走査させる。監視用ビームの反射光を上記受光手段2の光学系を通して受光して反射光の光量を検出する光量検出器5を設ける。光量検出器5の検出出力に応じて被検査物体Xの面性状に適応させた形状検出を行う。

Claim (excerpt)：

被検査物体上を走査させて検査用ビームを投光する検査用の投光手段と、上記検査用ビームの被検査物体による反射光を受光する受光手段とを一定距離だけ離して配置し、上記検査用ビームの反射光の入射角変化を検出する位置検出器の出力に基づいて被検査物体の形状を検出する形状検出装置において、監視用ビームを上記検査用ビームに一定距離だけ先行させて投光する監視用の投光手段を設け、この監視用ビームを検査用の投光手段の光学系を用いて被検査物体上を走査させ、上記監視用ビームの反射光を上記受光手段の光学系を通して受光して反射光の光量を検出する光量検出器を設け、この光量検出器の検出出力に応じて被検査物体の面性状に適応させた形状検出を行って成ることを特徴とする形状検出装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01C 15/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-127106
  
• 特開昭50-120364
  
• 特開昭60-227112
  
• 特開平4-279846