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J-GLOBAL ID：200903041496551404
回転処理装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
井上 一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993172673
Publication number (International publication number)：1995142339
Application date： Jun. 18, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 スピンチャックに載置固定される被処理基板の向きを常に一定にすることにより、製造工程でのスループットを改善することができる回転処理装置を提供する。【構成】 スピンチャック14の回転駆動手段を1回転させるに必要な駆動信号と処理終了に伴う回転駆動手段32の回転終了時、上記1回転毎の回転信号によるスピンチャック14の回転を停止するための信号入力条件34を、上記1回転毎の信号出力状態に拘らず一定させる制御部36を備えている。従って、スピンチャック14の処理終了に伴う回転終了時、1回転毎に出力される回転信号によってスピンチャック14を停止する場合には、減速等の過渡期に発生する誤出力や慣性による位置ずれを防止された状態で真の停止位置で停止させることができ、これによって、被処理基板搬入時での方向と一致するスピンチャック14の被処理基板搬出時での真の停止位置を割り出すことが可能になる。
Claim (excerpt)：
回転可能な載置台上に固定された回転位置基準部を有する基板に対して、レジスト液を滴下あるいは連続供給することで基板上に均一な塗布膜を形成する回転処理装置において、上記載置台を回転駆動する手段と、処理終了時、上記回転駆動手段を停止する一方、処理終了後に上記回転駆動手段を処理定常時よりも低速回転させて位置出し回転させる制御部と、上記回転駆動手段の処理のための回転開始時を基準として1回転毎に同期信号を出力する信号出力手段と、を、有し、上記制御部は、上記同期信号を入力されるとともに上記位置出し回転の回転開始後、上記同期信号の入力時に上記回転駆動手段を停止することを特徴とする回転処理装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
