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J-GLOBAL ID：200903041503418057
転がり軸受
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
江原 省吾 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994205852
Publication number (International publication number)：1995279973
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：
【要約】【目的】 特殊環境(真空高温、ガス雰囲気、清浄環境等)下で使用するのに好適な転がり軸受を提供する。【構成】 この軸受は半導体製造工程におけるスパッタリング装置のウェーハ搬送系に組込まれるもので、回転軸に嵌着される内輪1と、ハウジング2の嵌合面に緩い嵌め合いすきまS(常温時のすきま)をもって嵌合される外輪3と、内・外輪1、3間に介在する複数のボール4と、ボール4を円周等間隔に保持する保持器5とで構成される。内輪1、ボール4および保持器5はステンレス鋼材で形成され、外輪3はポリイミド(PI)材で形成されている。
Claim (excerpt)：
内輪又は外輪のうち少なくとも外輪がポリイミド材からなる転がり軸受。
Patent cited by the Patent：
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