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J-GLOBAL ID：200903041514142924

炉心管

Inventor： 塚本 直樹
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991269523
Publication number (International publication number)：1993109639
Application date： Oct. 17, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 炉心管内のガスの流れを変更することによりウェハー上での酸化膜厚を均一にする。【構成】 炉心管1の内側壁面に螺旋状の突起6を付けることにより、ガスの流れをウェハーに対して平行方向に変更し、ウェハーに生ずる酸化膜厚を均一にする。

Claim (excerpt)：

半導体集積回路の製造プロセスで用いられる炉心管であって、炉心管本体の内側壁面に、螺旋状の突起を有することを特徴とする炉心管。

IPC (2)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/31