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J-GLOBAL ID：200903041518379880

酸化層厚さ計測装置およびその計測方法

Inventor： 久保 貴博 ,  高木 圭介 ,  犬飼 隆夫
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (4)： 波多野 久 ,  関口 俊三 ,  猿渡 章雄 ,  古川 潤一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003025261
Publication number (International publication number)：2004233305
Application date： Jan. 31, 2003
Publication date： Aug. 19, 2004
Summary：

【課題】酸化層の厚さを非破壊的に計測し、計測精度をより一層向上させる酸化層厚さ計測装置およびその計測方法を提供する。【解決手段】本発明に係る酸化層厚さ計測装置は、周波数10-40GHzの電磁波を発生させて、かつ被検体表面から反射された電磁波を受波するネットワークアナライザ1と、電磁波を被検体表面に照射する酸化層厚さ計測ヘッド2と、被検体表面で反射してネットワークアナライザ1に受波された電磁波から被検体表面の酸化層厚さを演算する酸化層厚さ演算装置3とを備えた。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

周波数10-40GHzの電磁波を発生させて、かつ被検体表面から反射された電磁波を受波するネットワークアナライザと、電磁波を被検体表面に照射する酸化層厚さ計測ヘッドと、被検体表面で反射してネットワークアナライザに受波された電磁波から被検体表面の酸化層厚さを演算する酸化層厚さ演算装置とを備えたことを特徴とする酸化層厚さ計測装置。

IPC (3)：

G01B15/02 ,  F02C7/00 ,  G01N22/00

FI (5)：

G01B15/02 C ,  F02C7/00 A ,  G01N22/00 S ,  G01N22/00 U ,  G01N22/00 W

F-Term (9)：

2F067AA27 ,  2F067BB15 ,  2F067CC12 ,  2F067DD08 ,  2F067HH02 ,  2F067JJ02 ,  2F067KK08 ,  2F067RR26 ,  2F067SS04