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J-GLOBAL ID：200903041520575859

薄膜磁気ヘッド

Inventor： 木田 音次郎 ,  藤田 浩之
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992042442
Publication number (International publication number)：1993217118
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【構成】磁性膜、コイル、絶縁膜および保護膜を支持する基板が重量%でβ-Si3 N4 75〜30%とTiN 25〜70%から構成されている。およびこの基板に支持されている絶縁膜および又は保護膜がサイアロンで構成された薄膜磁気ヘッド。【効果】本発明薄膜磁気ヘッド材料は摺動性、耐摩耗性、高靭性、高熱伝導度、機械加工性に優れ、電気的性質としても比抵抗が小さく摩擦帯電性も小さい。サイアロン膜はこのような基板に対する絶縁膜、保護膜として耐摩耗性、接着性に極めて優れたもの。

Claim (excerpt)：

基材材料がβ-Si3N4 とTiN を主成分とすることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (3)：

G11B 5/31 ,  C04B 35/58 101 ,  C04B 35/58 102