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J-GLOBAL ID：200903041521588105

コロイド溶液の濾過方法

Inventor： 梅沢 浩之 ,  井関 正博 ,  対比地 元幸 ,  飯沼 宏文
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 岡田 敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002143780
Publication number (International publication number)：2003334565
Application date： May. 17, 2002
Publication date： Nov. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 従来、CMP等の機械的加工により発生する排水は、CMPスラリーに含まれる砥粒が微粒子であるためにコロイド溶液となり、有効な濾過方法がなかった。【解決手段】 本発明では、コロイド溶液の微粒子を含む排水を第1のフィルタ1の表面に吸引で形成されるゲル膜より成る第2のフィルタ2を利用して濾過する。このとき凝集剤またはpH調整剤を入れてコロイド溶液の微粒子をゲル化し易い凝集粒子にして吸引濾過を行うことで、ゲル化の困難なコロイド溶液でも濾過が行える。

Claim (excerpt)：

コロイド状の被除去物を含むコロイド溶液に凝集を促進する添加物質を入れて前記被除去物の凝集粒子を生成し、第1のフィルタの表面に前記被除去物の凝集粒子を吸引して生成したゲル膜より成る第2のフィルタを成膜し、該第2のフィルタで前記被除去物の凝集粒子を濾過することを特徴とするコロイド溶液の濾過方法。

IPC (5)：

C02F 1/52 ZAB ,  B01D 37/02 ,  C02F 1/46 ,  C02F 11/00 ,  C02F 11/12

FI (5)：

C02F 1/52 ZAB Z ,  B01D 37/02 E ,  C02F 1/46 Z ,  C02F 11/00 F ,  C02F 11/12 C

F-Term (38)：

4D015BA19 ,  4D015BA22 ,  4D015BB05 ,  4D015CA00 ,  4D015CA11 ,  4D015DA04 ,  4D015DA06 ,  4D015EA14 ,  4D015EA37 ,  4D059AA30 ,  4D059BE14 ,  4D059BE21 ,  4D059BE22 ,  4D059BE53 ,  4D059BE55 ,  4D059BF13 ,  4D059BK03 ,  4D059DA01 ,  4D059DA16 ,  4D059DA17 ,  4D059DA32 ,  4D059DA45 ,  4D059EA05 ,  4D059EA14 ,  4D059EA20 ,  4D059EB14 ,  4D061DA02 ,  4D061DB10 ,  4D061EA02 ,  4D061EB04 ,  4D061ED13 ,  4D066BA01 ,  4D066BB02 ,  4D066BB12 ,  4D066BB20 ,  4D066CA13 ,  4D066CB01 ,  4D066EA08