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J-GLOBAL ID：200903041528888236

プラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法

Inventor： 村田 正義 ,  宇佐美 正博
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 内田 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991064554
Publication number (International publication number)：1994212430
Application date： Mar. 28, 1991
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高硬度、耐摩耗性及び耐擦傷性などが要求されるプラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法。【構成】 反応容器内で反応ガスをプラズマ化しプラスチック基板表面に硬化保護膜を形成させるに当たり、先ず反応ガスとしてシロキサン又はエトキシシランガスを用い、該ガスのプラズマによりプラスチック基板表面にSi-0-C系膜を下地として成膜し、次に上記ガスとO2 の混合ガスのプラズマにより該Si-0-C系膜上にSiO2 膜を形成させるプラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法。

Claim (excerpt)：

反応容器内で反応ガスをプラズマ化しプラスチック基板表面に硬化保護膜を形成させるに当たり、先ず反応ガスとしてシロキサン又はエトキシシランガスを用い、該ガスのプラズマによりプラスチック基板表面にSi-O-C系膜を下地として成膜し、次に上記ガスとO2 との混合ガスのブラズマにより該Si-O-C系膜上にSiO2 膜を形成させることを特徴とするプラスチック基板表面の硬化保護膜の形成方法。

IPC (3)：

C23C 16/30 ,  B32B 27/00 101 ,  C23C 16/40