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J-GLOBAL ID：200903041529718873

管形成方法

Inventor： 内田 豊明 ,  新輪 隆 ,  古田 一吉
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998104826
Publication number (International publication number)：1999290679
Application date： Apr. 15, 1998
Publication date： Oct. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】本発明の課題は、微細加工技術を用いて、3次元構造物である管、とりわけ微小な管を形成する、部材の材質、平滑度への制約の低い方法を得ることである。【解決手段】上記の課題を克服するために、管形成方法を、基板に溝を形成する工程と、前記基板の溝を形成した面に充填層を形成する工程と、前記充填層の一部を除去する工程と、前記基板の溝を形成した面を被覆する工程と、前記溝内の前記充填層を除去する工程と、から構成した。

Claim (excerpt)：

基板に溝を形成する工程と、前記基板の溝を形成した面に充填層を形成する工程と、前記充填層の一部を除去する工程と、前記基板の溝を形成した面を被覆する工程と、前記溝内の前記充填層を除去する工程と、から構成されることを特徴とする管形成方法。

IPC (2)：

B01J 19/12 ,  H01L 21/3065

FI (2)：

B01J 19/12 F ,  H01L 21/302 J