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J-GLOBAL ID：200903041536923776

走査電子顕微鏡

Inventor： 中川 清一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996001287
Publication number (International publication number)：1997190793
Application date： Jan. 09, 1996
Publication date： Jul. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 反射電子の検出効率に優れたインレンズ型あるいはセミインレンズ型対物レンズを用いた走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】 反射電子検出器10の位置を対物レンズ9のレンズ主面位置に一致させると、電子ビーム通過開口11の径を最小とすることができる。すなわち、対物レンズ9の上部にある走査コイルによる電子プローブの走査は、対物レンズ9のレンズ主面を中心にして振り戻されるため、低倍観察の際の電子ビーム通過開口11の径の制限は、反射電子検出器10がレンズ主面位置にある限り、電子ビームの入射角まで小さくできる。このため、試料4から放出される反射電子の内、対物レンズ9の磁場によって光軸方向に集束される反射電子の多くを検出することができるので、反射電子の検出効率を極めて高くすることができる。従って、反射電子像を高い分解能で観察することが可能となる。

Claim (excerpt)：

電子ビームを試料上に集束するためのインレンズタイプあるいはセミインレンズタイプの対物レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得られた反射電子を検出する反射電子検出器とを備えた走査電子顕微鏡において、試料を対物レンズの磁場のピーク位置の下部に配置し、反射電子検出器を対物レンズの磁場のピーク位置に配置すると共に、反射電子検出器に小さな電子ビーム通過孔を設けた走査電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/29

FI (3)：

H01J 37/28 Z ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/29