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J-GLOBAL ID：200903041539506750
位相差測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
猪熊 克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997155854
Publication number (International publication number)：1998062253
Application date： May. 28, 1997
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】装置がコンパクトであり、且つ測定精度が高い位相差測定装置を提供する。【解決手段】光源1からの光を偏光子2aと位相板2bの順に導き、該偏光子2aと位相板2bとを、光軸zを中心とした少なくとも2つの異なる角度位置に一体として回転可能に配置し、位相板2bからの偏光3を被検物4に導き、該被検物4を透過し又は被検物4によって反射した偏光5を、光軸zを中心として回転可能に配置した検光子6に導き、該検光子6からの光の強度を測定する光検出器7を設け、該光検出器7の出力に基づいて、被検物4の透過又は反射における互いに直交する2つの直線偏光の間の位相差φ0を測定することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
光源からの光を偏光子と位相板の順に導き、該偏光子と位相板とを、光軸を中心とした少なくとも2つの異なる角度位置に一体として回転可能に配置し、前記位相板からの偏光を被検物に導き、該被検物を透過し又は被検物によって反射した偏光を、光軸を中心として回転可能に配置した検光子に導き、該検光子からの光の強度を測定する光検出器を設け、該光検出器の出力に基づいて、前記被検物の透過又は反射における互いに直交する2つの直線偏光の間の位相差を測定する位相差測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01J 4/04 A
, G01M 11/00 T
