自動高速光学検査装置

Inventor： , , , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：布施行夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001279721
Publication number (International publication number)：2002174514
Application date： Oct. 31, 1990
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】 TDIセンサ手段を用い基板の表面特性を検査する装置を提供すること。【解決手段】基板の表面特性を検査する検査装置である。この装置は、少なくとも1つの基板の表面の検査しようとしている領域において第1、第2のパターンを同時にほぼ均質に照明する照明手段と、前記第1、第2のパターンを順次に撮像する一対のTDIセンサ手段と、これら対のTDIセンサ手段に基づき、撮像した第1、第2のパターンを比較する比較手段319と、第1および第2のパターンの位置とともに比較結果を記憶する記憶手段320とを包含する。

Claim (excerpt)：

基板の表面特性を検査する方法であって、a.基板の表面の検査しようとしている或る領域において少なくとも第1パターンをほぼ均質な照明によって照明する段階と、b.このa段階で照明された基板の照明領域の第1パターンをTDIセンサ手段で撮像する段階と、c.b段階の撮像パターンを記憶する段階と、d.基板の表面の検査しようとしている領域にある少なくとも第2のパターンをほぼ均質な照明で照明する段階と、e.d段階で照明された基板の照明領域の第2パターンをTDIセンサ手段で撮像する段階と、f.e段階の撮像第2パターンをc段階で記憶された第1パターンと比較する段階とg.段階fの比較の結果を第1および第2のパターンの位置とともに記憶する段階と、h.直前の組の第2のパターンを第1のパターンとし、別のパターンを第2のパターンとして、各組のパターンについて段階aからgまでを順次的に繰り返す段階と、を含むことを特徴とする方法。

IPC (6)：

G01B 11/24 , G01N 21/88 , G01N 21/93 , G01N 21/956 , G06T 1/00 305 , G06T 1/20

FI (6)：

G01N 21/88 K , G01N 21/93 , G01N 21/956 B , G06T 1/00 305 A , G06T 1/20 C , G01B 11/24 F

F-Term (38)：

2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065DD09 , 2F065FF42 , 2F065GG00 , 2F065JJ00 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2G051AA51 , 2G051AA61 , 2G051AB03 , 2G051AC21 , 2G051BA20 , 2G051BB02 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051BB11 , 2G051BB17 , 2G051BB20 , 2G051CA01 , 2G051CB01 , 2G051CC12 , 2G051EA09 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA15 , 5B057CH04 , 5B057CH05 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB06 , 5B057DB09 , 5B057DC32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平1-250847
特開昭62-043505
特開昭57-194304

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