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J-GLOBAL ID：200903041565790637

微細物質の固定ならびに電極形成法

Inventor： 落合 幸徳
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993035071
Publication number (International publication number)：1994252056
Application date： Feb. 24, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は微細な物質の一部に他の材料を付着させる、基板上に固定する、さらに電極を作製することを目的とする。【構成】 目的とする微細な線状物質2、例えばカーボンナノチューブをレジスト3中に分散し基板1上に塗布する。次に、微細線状物質の分散の程度や方位に併せて設計したパターンでレジストを感光し現像する。その後、必要に応じて選んだ材料4を堆積させ、微細線状物質に材料を付着させる。付着させた材料を適当に選べば微細線状物質と基板を良好に固定することができる。また材料が導伝性のものであれば電極を形成することができる。必要があれば、リフトオフ法により試料と材料のみを基板上に残すことができる。

Claim (excerpt)：

微細な線状物質の一部に他の材料を付着させたり、微細な線状物質の一部を基板に固定したり、微細な線状物質の一部に電極を付ける方法において、前記線状物質を拡散させたレジストを基板上に塗布し、前記レジストを露光,現像し、電極または固定用材料を付着する、ことを特徴とする方法。

IPC (3)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/027