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J-GLOBAL ID：200903041580576919

物体のパタン加工表面を光学的に検査する方法および装置

Inventor： ファイト、ミハエル ,  クノルツ、フォルカー ,  メーリンガー-クンツ、エドガー
Applicant, Patent owner： ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
Agent (1)： 加藤 朝道 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000596395
Publication number (International publication number)：2002535687
Application date： Jan. 27, 2000
Publication date： Oct. 22, 2002
Summary：

【要約】 物体(特に、ウエファおよび/またはマスク)のパタン加工表面を光学的に検査する方法および装置。光学装置は、物体(16)の表面に対して垂直をなす中心軸線(42)を有する観察光路(6)と、物体(16)の表面に垂直に入射する中心光(40)を含む照明光束(2)と、物体(16)の表面に斜めに入射する中心光(41)を含む照明光束(3)とを有する。観察光路(6)において、物体(16)の表面の像を観察および/または検知する。観察光路(6)には、更に、フィルタ装置(38)および/または検知装置(18)が設けてある。光学装置は、明視野照明および暗視野照明を同時に形成する照明装置(39)を有し、この場合、明視野照明光束(2)および/または暗視野照明光束(3)には、照明光束(2,3)の標識(コーディング)装置(11)が配してある。

Claim (excerpt)：

物体表面に対して垂直をなす中心軸線を有する観察光路と、物体表面に垂直に入射する中心光を含む照明光束と、物体表面に斜めに入射する中心光を含む照明光束とによって、物体(特に、ウエファおよび/またはマスク)のパタン加工表面を光学的に検査する方法であって、 観察光路内で物体表面の像を観察および/または検知する形式のものにおいて、 双方の照明光束の少なくとも1つに標識ないしコーディングを施し、物体表面に双方の照明光束を同時に入射させること、 観察光路において、異なった複数の照明光束によって形成された複数の像を相互に分離し、観察系および/または評価系に送ることを特徴とする、 物体のパタン加工表面を光学的に検査する方法。

IPC (3)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J

F-Term (41)：

2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051BC01 ,  2G051BC10 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051FA01 ,  2G051GC04 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB07 ,  4M106DB13 ,  4M106DB14 ,  4M106DB15 ,  4M106DB19 ,  4M106DB21 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH38 ,  4M106DH39 ,  4M106DJ32