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J-GLOBAL ID：200903041598612394

レーザトリミング方法

Inventor： 中井 出 ,  岡田 俊治
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991248840
Publication number (International publication number)：1993090071
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 厚膜コンデンサーにおいて、その上部銅電極をレーザを用いて除去することにより、THB試験における耐圧性能を劣化させることなく、コンデンサーの容量トリミングを行う。【構成】 QスイッチNd:YAGレーザの第2高調波を用いて、厚膜コンデンサーの上部電極をレーザ光の走査により除去していく。この時、1パルスで電極全部が蒸発してしまうよりも低めのレーザパワーに設定し、1つのトリミングライン1を複数回の高速レーザ走査を行うことで電極の除去を行う。また、トリミングの始点と終点には、マスク6を用いて遮光する。このようなトリミングライン1を、相互に重なることがないように平行に並べてつくることにより、適当な面積の上部電極を除去する。これにより、耐圧性能が良く、精度の良い容量トリミングが可能となる。

Claim (excerpt)：

QスイッチNd:YAGレーザの第2高調波を用い、同一線上にレーザビーム照射を複数回走査することにより、厚膜コンデンサーの上部電極を除去して容量トリミングを行なうレーザトリミング方法。

IPC (2)：

H01G 4/34 ,  B23K 26/00