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J-GLOBAL ID：200903041610264178

露光装置及びデバイス製造方法

Inventor： 堀川 浩人
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (4)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005309543
Publication number (International publication number)：2007123318
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： May. 17, 2007
Summary：

【課題】ノズル部を介して電気性用力を伝達させる。【解決手段】投影光学系PLによりパターンが投影される基板を保持するステージ4と、投影光学系PLと基板との間で液体を処理するノズル部70とを有する。ステージ4とノズル70との間で露光処理に用いる電気性用力を非接触で伝送する伝送装置Tを備える。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

投影光学系によりパターンが投影される基板を保持するステージと、前記投影光学系と前記基板との間で液体を処理するノズル部とを有する露光装置であって、 前記ステージと前記ノズル部との間で露光処理に用いる電気性用力を非接触で伝送する伝送装置を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3)：

H01L21/30 514E ,  H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521

F-Term (3)：

5F046AA17 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 国際公開第99/49504号パンフレット