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J-GLOBAL ID：200903041619991510

表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法

Inventor： 丸山 昭 ,  西川 雄司
Applicant, Patent owner： コニカ株式会社
Agent (1)： 坂口 信昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001070579
Publication number (International publication number)：2002267602
Application date： Mar. 13, 2001
Publication date： Sep. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】複数回の使用に耐え、且つ超微量液状物を超高感度に測定できる表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】赤外線透過用基板に島状金属酸化物皮膜を製膜後、同一真空槽内で連続製膜により金属元素の島状金属膜を製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法である。

Claim (excerpt)：

赤外線透過用基板に島状金属酸化物皮膜を製膜後、同一真空槽内で連続製膜により金属元素の島状金属膜を製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法。

IPC (5)：

G01N 21/35 ,  C23C 14/24 ,  C23C 30/00 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/27

FI (5)：

G01N 21/35 Z ,  C23C 14/24 S ,  C23C 30/00 Z ,  G01N 21/27 C ,  G01N 1/28 U

F-Term (35)：

2G052AD06 ,  2G052AD46 ,  2G052DA01 ,  2G052DA05 ,  2G052GA11 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059EE01 ,  2G059HH01 ,  2G059PP10 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029BA01 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA08 ,  4K029BA13 ,  4K029BA43 ,  4K029BA45 ,  4K029BA48 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA02 ,  4K029DB03 ,  4K029DB05 ,  4K044AA11 ,  4K044AB02 ,  4K044BA08 ,  4K044BA12 ,  4K044BB03 ,  4K044BB08 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-261846
  
• 銀系の薄膜構造
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-244849   Applicant：鐘淵化学工業株式会社
• 特開平3-261846
  
• 特表平4-506999