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J-GLOBAL ID：200903041620483242

集積回路製造用ポジ型感光性組成物

Inventor： 落合為一 ,  亀山泰弘
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992114885
Publication number (International publication number)：1993313365
Application date： May. 07, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂及び感光剤として下記一般式(I)で表される化合物を含むことを特徴とする集積回路製造用ポジ型感光性組成物。【化1】(式中、R1及びR2はそれぞれ水素原子またはアルキル基を表わすか、R1とR2は連結して脂肪族炭化水素環を表わし、R3及びR4は、それぞれC4〜C20のアルキル基、シクロアルキル基、置換されていてもよいアリール基、または置換されていてもよいアラルキル基を表し、R5及びR6はそれぞれ水素原子1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基または1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表す。但し、R5とR6は同時に水素原子のことはない。)【効果】本発明のポジ型感光性組成物は、可視又は近紫外領域の光を用いてのハーフミクロンリソグラフィーが可能である。。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂及び感光剤として下記一般式(I)で表される化合物を含むことを特徴とする集積回路製造用ポジ型感光性組成物。【化1】(式中、R1及びR2はそれぞれ水素原子またはアルキル基を表すか、R1とR2とは連結して脂肪族炭化水素環を表わし、R3及びR4は、それぞれC4〜C20のアルキル基、シクロアルキル基、置換されていてもよいアリール基、または置換されていてもよいアラルキル基を表し、R5及びR6はそれぞれ水素原子、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基または1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表す。但し、R5及びR6は同時に水素原子であることはない。)

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-186351
  
• 特開昭57-063526
  
• 特開昭62-269946
  
• 特開平2-197844