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J-GLOBAL ID：200903041625655530

基板搬送位置決め装置

Inventor： 石橋 昌
Applicant, Patent owner： 株式会社カイジヨー
Agent (1)： 羽切 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991167474
Publication number (International publication number)：1993090306
Application date： Jun. 13, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 簡単且つ低廉な構成にしてあらゆる形状の基板に対する汎用性を有する位置決め手段を具備した基板搬送位置決め装置を提供する。【構成】 基板移送手段により移送された基板31が載置される受け台60上に、複数条の空気等の流体放出用の長手溝60b及び60cを互いに交差するように形成して流体を全方向に放出させて確実な位置決めを行うように構成した。

Claim (excerpt)：

基板を載置するための平坦な受け面を有する受け台と、基板をその主面に対して平行に移送して前記受け台上に載置する基板移送手段とを備え、前記受け面には複数条の長手溝が形成されていることを特徴とする基板搬送位置決め装置。

IPC (2)：

H01L 21/50 ,  H01L 21/68