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J-GLOBAL ID：200903041640887641

液体噴射記録ヘッド、その製造方法および液体噴射記録ヘッドに用いる基体の製造方法

Inventor： 殿垣 雅彦 ,  松本 繁幸 ,  杉谷 博志 ,  池田 雅実 ,  牧野 憲史 ,  成瀬 泰弘 ,  田村 清一 ,  泉田 昌明 ,  尾崎 照夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 谷 義一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996167657
Publication number (International publication number)：1997070973
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Mar. 18, 1997
Summary：

【要約】【目的】 信頼性の高い記録ヘッド用基体および記録ヘッドの製造方法を低価格で歩留り良く提供することを目的とする。【構成】 液体噴射記録ヘッドは、フォトリソグラフィと成膜により、電気熱変換素子と該電気熱変換素子を駆動する駆動用機能素子と、該駆動用機能素子と電気熱変換素子とを接続する配線電極と、該配線電極上に設けられる保護膜と、を基板に形成した記録ヘッド用基体を用いている。電気熱変換素子は、TaN,HfB2 ,Poly-Si,Ta-Al,Ta-Ir,Au,Agからなる群から選択された材料からなる発熱抵抗体であり、該発熱抵抗体上の保護膜は、低密度から順次高密度となるように堆積された絶縁化合物からなるものである。保護膜は、前記基体の温度を低温から高温に上げながら、絶縁材料を前記電気熱変換素子または配線電極上に堆積することにより形成される。

Claim (excerpt)：

液体の噴射に利用される熱エネルギを発生する電気熱変換素子と、該電気熱変換素子を駆動する駆動用機能素子と、該駆動用機能素子と前記電気熱変換素子とを接続する配線電極と、該配線電極上に設けられる保護膜と、を基板に形成した記録ヘッド用基体を用いた液体噴射記録ヘッドにおいて、前記電気熱変換素子または前記配線電極上の保護膜は、前記基板に近い側から遠い側に向けて密度が徐々に高くなるように堆積された絶縁化合物からなることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。

IPC (2)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H