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J-GLOBAL ID：200903041659938077

蒸着装置及び成膜方法及びボールバンプの形成方法

Inventor： 柳田 敏治
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995115427
Publication number (International publication number)：1996316148
Application date： May. 15, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 レジスト膜等の残渣を除去できる蒸着装置と成膜方法とボールバンプの形成方法を提供する。【構成】 真空容器内7内に蒸着材料9を貯留した坩堝10と対向して配置した加工ステージ11を備えた蒸着装置において、加工ステージ11に接続した高周波電源18と真空容器7に不活性ガスの導入孔19を設けた。【効果】 はんだバンプと下地メタル材料との間の接触抵抗が軽減され、かつ接着強度も向上する。

Claim (excerpt)：

真空容器内に蒸着材料を貯留した坩堝と、該坩堝内の該蒸着材料と対向させた被加工物を載置した加工ステージを備えた蒸着装置において、前記加工ステージに高周波電源を接続し、前記真空容器に不活性ガスの導入孔を具備して成る、蒸着装置。

IPC (4)：

H01L 21/203 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/24 ,  H01L 21/321

FI (4)：

H01L 21/203 Z ,  C23C 14/02 B ,  C23C 14/24 Z ,  H01L 21/92 604 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-240949
  
• 特開昭59-208841
  
• 特開平3-123021