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J-GLOBAL ID:200903041665298110

ガスセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 北村 修
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993085012
Publication number (International publication number):1994300726
Application date: Apr. 13, 1993
Publication date: Oct. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 装備される金属酸化物半導体の検知素子として、比較的製作容易な複数ガスの検知を対象とするものをも採用でき、ハウジング構成の改良により、製作容易且つ廉価で、検知対象のガスを選択的に検知できるガスセンサを得る。【構成】 検知対象ガスに対するガス検知状態において、検知素子3を収納する気密性ハウジング2に設けられる通気孔6を流通するガスの流量が検知対象ガスに対する選択性が得られる流量に制限される流量制限通気孔として通気孔6を構成し、通気孔6の外側に金網等の防爆用構造材5を配設し、ハウジング外部と通気孔6との間に防爆用構造材5を介する通気路Fを備え、防爆用構造材5の外側通気面積を通気孔6の通気面積より大きく設定して、ガスセンサを構成する。
Claim (excerpt):
ハウジング外部と内部との間でガスが流通可能な通気孔(6)を備えた気密性ハウジング(2)内に、金属酸化物半導体よりなる検知素子(3)を備えたガスセンサであって、検知対象ガスに対するガス検知状態において、前記通気孔(6)を流通するガスの流量を、前記検知対象ガスに対する選択性が得られる流量に制限する流量制限通気孔として前記通気孔(6)を構成するとともに、前記通気孔(6)の外側に防爆用構造材(5)を配設し、前記ハウジング外部と前記通気孔(6)との間に前記防爆用構造材(5)を介する通気路(F)を備え、前記防爆用構造材(5)の外側通気面積が前記通気孔(6)の通気面積より大きく設定されているガスセンサ。

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