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J-GLOBAL ID：200903041670728009

設備能力算出システムおよびその設備能力算出方法

Inventor： 根本 和典 ,  片柳 隆弘 ,  榊原 光
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991173753
Publication number (International publication number)：1993020333
Application date： Jul. 15, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 特に半導体製造装置のように複雑かつ多機能化している設備の処理能力を、簡便、高精度かつ容易に算出できる設備能力算出システムを提供する。【構成】 半導体製造装置に用いられる設備能力算出システムであって、設備仕様や機械的処理フローを管理する設備仕様管理用計算機1と、製品の製造条件や製品の処理フローを管理する製造条件管理用計算機2と、設備能力算出用計算機3とから構成され、ローカルエリアネットワークを用いて有機的に結び付けられている。そして、設備能力算出用計算機3に、設備仕様管理用計算機1から設備仕様と機械的処理フロー、製造条件管理用計算機2から製造フロー、処理条件および不稼働時間が取り込まれ、品種・工程・設備型式毎の設備の処理能力が算出される。

Claim (excerpt)：

製造装置の処理能力を算出する設備能力算出システムであって、設備管理用データを登録・管理する設備仕様管理手段と、製品関連データを登録・管理する製造条件管理手段と、処理能力を算出する設備能力算出手段とを備え、前記設備管理用データと製品関連データを分離して管理し、製品の製造フローの変更または処理条件の変更が生じた時に設備処理能力を算出することを特徴とする設備能力算出システム。

IPC (2)：

G06F 15/21 ,  H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-060935
  
• 特開昭63-272453
  
• 特開平3-111156
  
• 特開平1-109059