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J-GLOBAL ID：200903041674492360

電子機能素子用基板

Inventor： 嘉屋 樹佳 ,  芦田 由浩
Applicant, Patent owner： 旭化成工業株式会社
Agent (1)： 渡辺 一雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991281218
Publication number (International publication number)：1993121323
Application date： Oct. 28, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 目的とする特性、物性を損なわず平面性の高い薄膜を有する電子機能素子用基板を得ることにある。【構成】 本発明は、両面に薄膜を有する基板を提供することで平面性の高い薄膜を有する基板を得るものである。【効果】 反りなどの少ない平面性の高い基板を得ることが可能となり、薄膜成長後の研磨等の表面処理、リソグラフィー等が容易となり均質性の高い電子機能素子の作成が可能となる。

Claim (excerpt)：

基板上に第1の薄膜を有し、第1の薄膜を有する該基板の裏面に第2の薄膜を有することを特徴とする電子機能素子用基板。

IPC (2)：

H01L 21/20 ,  H01L 21/205