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J-GLOBAL ID：200903041684817420

荷電粒子線応用装置

Inventor： 黒田 勝広
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995304088
Publication number (International publication number)：1996212955
Application date： Nov. 24, 1988
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 一段又は二段のE×Bフィルタと試料に印加した一次電子線を減速する電界により電子線像の高分解能を実現する。【構成】 電子源からの一次電子線を絞るためのコンデンサレンズと試料との間にE×Bフィルタを配置しかつ試料に一次電子線を減速する電圧を印加して試料からの二次電子線を計測する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子源と、該荷電粒子源からでた一次荷電粒子線を試料に照射するためのコンデンサレンズと対物レンズを含むレンズ手段と、該試料を保持する試料台と、該試料に該一次荷電粒子線を減速させる減速手段と、該一次荷電粒子線源と検出器の間にE×B形フィルタを設け、該減速手段と該E×B形フィルタを連動したことを特徴とする荷電粒子線応用装置。

IPC (2)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-155941
  
• 特開昭60-047358
  
• 特開昭62-090839