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J-GLOBAL ID：200903041690176959

感光性耐食膜組成物および方法ならびに同組成物を含む工業製品

Inventor： ジェームス エフ.キャメロン ,  マルサ エム.ラハラトナム ,  ロジャー エフ.シンタ ,  ジェームス ダブリュー.サッケライ
Applicant, Patent owner： シプレイ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー
Agent (1)： 清水 初志 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999043762
Publication number (International publication number)：1999282168
Application date： Feb. 22, 1999
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、金属基板上へのコーティングおよび結像の際に有意に改善されたリソグラフィー性能を提供することができる新規感光性耐食膜組成物および方法を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明は、強い感光性生成酸を生じる陽画型化学増幅感光性耐食膜組成物の使用を含む。耐食膜を、ストリンジェントな乾燥工程、例えば少なくとも約140°Cで60秒以上基板を加熱する工程を行った金属基板上にコーティングする。強い感光生成酸と予めコーティングした基板のストリンジェントな乾燥とを組み合わせて用いることにより、金属基板上を含む非常に解像度のよい耐食膜起伏影像が得られる。

Claim (excerpt)：

a) 基板表面の少なくとも一部に露光した金属を有する基板を加熱する段階;b) 感光性耐食膜組成物が、1)活性化放射線に対する露光時に1つ以上の電子求引基で置換されたスルホン酸を生じる感光性酸生成剤と、2)置換スルホン酸の存在下で不安定である部分を含む成分とを含む、基板を加熱した後、陽画型化学増幅感光性耐食膜組成物のコーティング層を基板に適用する段階;およびc) 感光性耐食膜組成物コーティング層を露光および現像して感光性耐食膜起伏影像を得る段階を含む、金属表面領域を有する基板上に感光性耐食膜起伏影像を形成する方法。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/09 501

FI (3)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/09 501