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J-GLOBAL ID：200903041700082648

自動焦点合わせ装置を有し高スループット選考に好適な顕微鏡

Inventor： レブランス,マルク・ジヤン・ルネ ,  バン・ドニンク,フイリプ・アルトウール
Applicant, Patent owner： テイボテク・ビーブイビーエイ
Agent (1)： 小田島 平吉
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001566072
Publication number (International publication number)：2003526814
Application date： Mar. 08, 2001
Publication date： Sep. 09, 2003
Summary：

【要約】顕微鏡内で画像を自動焦点合わせする装置は観察されるべきサンプル面の光学画像を形成するよう構成された光学システム、自動焦点合わせ検出システム、そして焦点修正システムを含む。該自動焦点合わせシステムは自動焦点合わせ光ビームを発生するための自動焦点合わせ光ビーム源を有する。該自動焦点合わせシステムは更に、自動焦点合わせ光ビームを自動焦点合わせ検出デバイスに向けるための検出システムレンズと、該物体面の画像の望ましい焦点合わせされた基準面からの変位量を決定するための自動焦点合わせ検出デバイスとを有する。該焦点合わせ修正システムは、該光学システム内で該画像を適当に焦点合わせするために、対物レンズと該サンプル面の間の距離を自動的に調整するためのフイードバック制御器と焦点調整デバイスとを有する。顕微鏡内で物体面の画像を自動焦点合わせする関連の方法。

Claim (excerpt)：

物体面を見るための高スループット選考に好適な顕微鏡に於いて、 該顕微鏡の主光軸に沿って位置付けされた複数のレンズと、 該複数のレンズを支持するプローブアームとを具備しており、前記プローブアームは該主光軸に概ね沿って延びており、該顕微鏡は又 検査されるべき物体面を有する物体が置かれる支持部を具備しており、該物体面は該顕微鏡を通して観察される焦点面に実質的に沿って延びており、該顕微鏡は更に 画像面上に該物体面の画像を創るための光学的出力デバイスと、そして 該物体面の画像を自動焦点合わせするための自動焦点合わせ装置とを具備しており、 該主光軸は折りたたまれず、1つの面に実質的に沿って延びていることを特徴とする物体面を見るための高スループット選考に好適な顕微鏡。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/28

FI (4)：

G02B 21/00 ,  G02B 7/11 Z ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 N

F-Term (21)：

2H051AA11 ,  2H051BB27 ,  2H051CC04 ,  2H051CE23 ,  2H051EA22 ,  2H052AA09 ,  2H052AB05 ,  2H052AB10 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AD02 ,  2H052AD09 ,  2H052AD20 ,  2H052AD33 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35 ,  2H052AE12 ,  2H052AF14