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J-GLOBAL ID：200903041713431668

ダイシングテープ

Inventor： 長谷川 欣治 ,  久保 耕司 ,  室岡 博文
Applicant, Patent owner： 帝人株式会社
Agent (1)： 前田 純博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997018492
Publication number (International publication number)：1998214801
Application date： Jan. 31, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ポリエステルフィルム及びシリコーン樹脂離形層に含まれている不純物に起因するシリコンウエハーの歩留り低下を防止することができるダイシングテープを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に粘着剤層を形成した粘着フィルムに、ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に、特定のシランカップリング剤を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上にシリコーン離形層を設けてなる離形フィルムを、該離形フィルムのシリコーン離形層面と該粘着フィルムの粘着剤層面を貼合せ積層したことを特徴とするダイシングテープ。

Claim (excerpt)：

ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に粘着剤層を形成した粘着フィルムに、ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られたポリエステルを主成分とするポリエステル基材フィルムの片面に、下記式(I)で示される化合物を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上にシリコーン離形層を設けてなる離形フィルムを、該離形フィルムのシリコーン離形層面と該粘着フィルムの粘着剤層面を貼合せ、積層したことを特徴とするダイシングテープ。【化1】Y-Si-X3 ......(I)[式(I)中、Xはアルコキシ基、Yはエポキシ基、アミノ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基又はアルコキシ基を有する反応性有機官能基を示す。]

IPC (3)：

H01L 21/301 ,  B32B 27/36 ,  C09J 7/02

FI (3)：

H01L 21/78 N ,  B32B 27/36 ,  C09J 7/02 Z