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J-GLOBAL ID：200903041736364780

プラズマ反応装置における結合されたシリコンカーバイド部品

Inventor： ロバート ダブリュー. ウ
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998169896
Publication number (International publication number)：1999106263
Application date： Jun. 17, 1998
Publication date： Apr. 20, 1999
Summary：

【要約】【課題】 調製が容易で、かつ接地抵抗性及びRF表皮深度が優れたプラズマ反応装置部品を提供する。【解決手段】 例えば、半導体ウェハ加工のためのプラズマ反応装置であって、チャンバの部品が互いに結合されたシリコンカーバイドの複数の部品から形成されたプラズマ反応装置である。部品の結合は、拡散結合又は結合剤例えばポリイミドを用いてなされる。これらのシリコンカーバイド部品は、典型的には、プラズマ領域に対向してプラズマ領域を定める。好ましくは、プラズマに面する表面は、例えば化学気相堆積により堆積されたシリコンカーバイドフィルムで被覆されており、それによりプラズマによる腐食に対してより耐性となる。有利には、異なる部品は有利なプラズマを形成するように異なった抵抗率を持って形成される。

Claim (excerpt)：

シリコンカーバイド部品であって、第一の所定の抵抗率を有する第一の焼結シリコンカーバイド部品と、及び前記第一の焼結シリコンカーバイド部品に結合され、前記第一の抵抗率と実質的に異なる第二の所定の抵抗率を有する第二の焼結シリコンカーバイド部品とを含むことを特徴とするシリコンカーバイド部品。

IPC (4)：

C04B 35/565 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (4)：

C04B 35/56 101 X ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 A ,  H01L 21/302 B