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J-GLOBAL ID：200903041764977436
セラミックス回転カソードターゲットおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992312882
Publication number (International publication number)：1993222527
Application date： Oct. 28, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：
【要約】【構成】円筒状ターゲットホルダーの外表面を荒し、その上に、後で形成するセラミックス層とホルダーとの中間の熱膨張係数を有する金属または合金の層とその上に前記セラミックス層に近似した熱膨張係数を有する金属または合金の層をアンダーコートとして形成した後、次いで、セラミックス粉末を減圧非酸化雰囲気下でのプラズマ溶射によりアンダーコート上に付着させ、ターゲットとなるセラミックス層を形成する。【効果】セラミックス薄膜を高速で成膜できる。
Claim (excerpt)：
円筒状ターゲットホルダーの外表面を荒し、その上に、後で形成するセラミックス層の熱膨張係数と前記ターゲットホルダーの熱膨張係数との中間の熱膨張係数を有する金属または合金からなる層と、前記セラミックス層の熱膨張係数に近似した熱膨張係数を有する金属または合金からなる層のうち少なくとも1層をアンダーコートとして形成し、次いで、セラミックス粉末を減圧非酸化雰囲気下の高温ガス中で半溶融状態にしつつこのガスにより前記アンダーコート上に輸送して付着させ、スパッタすべきターゲットとなるセラミックス層を形成することを特徴とするセラミックス回転カソードターゲットの製造方法。
IPC (2)：
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