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J-GLOBAL ID:200903041810931594

透過型レーザー顕微鏡による特定物質撮像方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 田中 雅雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995333136
Publication number (International publication number):1997179037
Application date: Dec. 21, 1995
Publication date: Jul. 11, 1997
Summary:
【要約】【課題】 作業手数を少くし、短時間で撮像でき、かつ、大きな出力のレーザー光を要せず、しかも特別に高感度の受光素子を使用せずに良好な特定物質の画像が得られるようにする。【解決手段】 光源1からのレーザー光を照射側対物レンズ4を通して集光させたレーザースポット光を資料表面側から照射して走査させ、該レーザースポット光の該資料の裏側への透過光を、前記照射側対物レンズ4と同等の透過側対物レンズ6に通し、そのレンズで結像させた位置に設けた凹面鏡8に反射させて逆行させ、その逆行光を受光素子に受光させるようにしてなる透過型レーザー顕微鏡を使用し、光源1からは測定しようとする特定物質の分光透過率特性における吸収帯域にある波長の第1のレーザー光と、前記吸収帯域外にあって第1のレーザー光に近い波長の第2のレーザー光とを同時に発光させ、その両レーザー光の逆行光を別々の受光素子11,12に受光させ、両レーザー光の変化の違いにより特定物質を撮像する。
Claim (excerpt):
光源からのレーザー光を照射側対物レンズを通して集光させたレーザースポット光を資料表面側から照射して走査させ、該レーザースポット光の該資料の裏側への透過光を、前記照射側対物レンズと同等の透過側対物レンズに通し、該レンズで結像させた位置に設けた凹面鏡に反射させて逆行させ、その逆行光を受光素子に受光させるようにしてなる透過型レーザー顕微鏡を使用し、前記光源からは測定しようとする特定物質の分光透過率特性における吸収帯域にある波長の第1のレーザー光と、前記吸収帯域外にあって第1のレーザー光に近い波長の第2のレーザー光とを同時に発光させ、その両レーザー光の逆行光を別々の受光素子に受光させ、両レーザー光の変化の違いにより特定物質を撮像することを特徴としてなる透過型レーザー顕微鏡による特定物質撮像方法。
IPC (3):
G02B 21/36 ,  G01N 21/49 ,  H04N 1/04
FI (3):
G02B 21/36 ,  G01N 21/49 C ,  H04N 1/04 Z

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