Pat
J-GLOBAL ID：200903041819579524

カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこのカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置

Inventor：
中山 優

About 中山 優

, 
高松 修

About 高松 修

, 
島田 康弘

About 島田 康弘

, 
山本 敬介

About 山本 敬介

, 
新庄 克彦

About 新庄 克彦


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992103796
Publication number (International publication number)：1993284765
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 信頼性の高いカンチレバー型変位素子、及びカンチレバー型プローブ、さらには、これらを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置を提供する。【構成】 非導電体層からなるカンチレバーの支持体の上下面に、左右に分割された発熱体層を設け、熱駆動を行うカンチレバー型変位素子は、カンチレバーの反りや、特性の変化が少なく、機械的強度や耐久性を高めることができ、これを用いたカンチレバー型プローブは信頼性の高い検出素子となる。また、上記カンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置は、高速処理が可能で、かつ信頼性の高い装置となる。
Claim (excerpt)：
基板上に片持ち梁状に形成された変位素子において、該変位素子は、少なくとも1つの非導電体層と複数の発熱体層からなり、該発熱体層の熱駆動により変位することを特徴とするカンチレバー型変位素子。
IPC (3)：
H02N 10/00 ,  G11B 9/00 ,  H01L 29/84
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特開平4-095804
  • 特開昭61-206148
  • 特開平4-121603
Cited by examiner (24)
  • 特開平4-095804
  • 特開昭61-206148
  • 特開平4-095804
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM