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J-GLOBAL ID：200903041824880569
物理量検出センサ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993249042
Publication number (International publication number)：1995103837
Application date： Oct. 05, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】ピエゾゲージ抵抗を用いた物理量検出センサに関し、出力の温度ヒステリシスを低減する。【構成】熱応力によって降伏現象を起こすアルミなどの配線材をピエゾゲージの応力不感方向に配列する。特に(001)面シリコンに対しては、配線方向を〈100〉方向とする。この他、使用温度範囲内で降伏しない配線材を用いる。【効果】ピエゾゲージの応力不感方向に配線することにより、配線材が降伏現象を起こしてもゲージ抵抗値は変化しない。したがって、センサの出力は温度ヒステリシスをもたない。
Claim (excerpt)：
半導体基板上に抵抗体を形成し、該抵抗体の抵抗状態を出力する物理量検出センサにおいて、前記抵抗体の抵抗状態を出力するための出力配線を前記半導体基板の応力不感応方向に設けたことを特徴とする物理量検出センサ。
IPC (3)：
G01L 9/06
, G01L 9/04 101
, H01L 29/84
Cited by examiner (7)
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