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J-GLOBAL ID：200903041847757764

四弗化ケイ素ガスの精製方法

Inventor： 原 田 功 ,  在 塚 眞 ,  三 本 敦 久
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991240864
Publication number (International publication number)：1993078117
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 四弗化ケイ素 ガス中の不純物を吸収除去する際、使用する活性アルミナ充填塔内の伝熱を良くする。【構成】 四弗化ケイ素ガス中に含まれる二酸化炭素を除去するに際し、活性アルミナの脱水、再生及び通気する際に、該活性アルミナ層内に金属板を挿入することを特徴とする四弗化ケイ素ガスの精製方法。【効果】 安定した活性効果が得られる。また、通気中の吸着熱を除去する効果がある。

Claim (excerpt)：

四弗化ケイ素ガス中に含まれる二酸化炭素を除去するに際し、活性アルミナの脱水、再生及び通気する際に、該活性アルミナ層内に金属板を挿入することを特徴とする四弗化ケイ素ガスの精製方法。