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J-GLOBAL ID:200903041848239724

光スキャニング装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 晴敏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992087997
Publication number (International publication number):1993257076
Application date: Mar. 12, 1992
Publication date: Oct. 08, 1993
Summary:
【要約】【目的】 光スキャニング装置の小型化及び高速化を図る。【構成】 光スキャニング装置は球面の一部を切り取った形状の反射面を有する凹面鏡1を備えている。振動部材2が凹面鏡1に対面配置している。この振動部材2は第一の軸3を中心としてガルバノメータ12により双方向に回転振動される。振動部材2には腕部5を介して受光素子6が取り付けられている。受光素子6の受光面は第二の軸7上において球半径の中点に位置し且つ凹面鏡1に対面している。さらに、振動部材2の先端には第一の軸3に対して傾斜配置された平面ミラー8が固定されている。第一の軸3に平行な入射光9は平面ミラー8により反射され第二の軸7と平行にスキャニング光10として出射される。スキャニング光10に平行な戻り光11は凹面鏡1により集光され受光素子6により受光される。
Claim (excerpt):
光線をスキャニング投光し標的からの散乱光を受光検出する光スキャニング装置において、球面の一部を切り取った形状の反射面を有する凹面鏡と、球中心点を含み前記凹面鏡と対向した平面上にある球直径を第一の軸とし該第一の軸の周りを回転振動する振動部材と、前記球中心点を通り前記振動部材に固定された球半径を第二の軸とし該第二の軸上において前記球半径の略中点で前記振動部材に取り付けられ受光面を前記凹面鏡の方向に向けて設置された受光素子と、前記第一の軸に対し傾斜角をもって前記振動部材に固定され前記第一の軸に平行な入射光が前記第二の軸に平行に且つ受光素子と反対の方向へ反射される様に設置された平面ミラーと、前記振動部材を前記第一の軸の周りに回転振動させる駆動手段とからなる事を特徴とする光スキャニング装置。
IPC (5):
G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10 104 ,  G01N 21/17 ,  G01S 7/48 ,  G01S 17/02

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