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J-GLOBAL ID：200903041854465051

円形基板の位置決めユニットと位置決め方法

Inventor： 赤谷 秀則 ,  村本 孝紀 ,  林田 明久 ,  遠山 佳宏
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995028011
Publication number (International publication number)：1996222621
Application date： Feb. 16, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 円形基板の位置決めユニットに関し、サイズの異なった円形基板を人手を介さずにインライン化して連続処理することを目的とする。【構成】 上下が開口し、円形基板4の周縁が滑動するすり鉢形の内壁1aと、該円形基板4のサイズに対応して埋設されたサイズセンサ1bとを有するガイド部材1と、着脱可能に該円形基板4を保持して回転可能に、かつ昇降可能に支持し、該ガイド部材1の中心部に設けられたステージ2と、該円形基板4の切欠4aを検知するもので、該ガイド部材1の開口1cから該内壁の内部に入出可能に前進する切欠センサ3からなるように構成する。

Claim (excerpt)：

ガイド部材と、ステージと、切欠センサとを有し、前記ガイド部材は、上下が開口し、円形基板の周縁が滑動するすり鉢形の内壁と、該内壁の、前記円形基板のサイズに対応した複数の位置のそれぞれに埋設されたサイズセンサとを有するものであり、前記ステージは、着脱可能に円形基板を保持する保持盤と、該保持盤に設けられ、該円形基板の着脱を検知する基板センサと、該保持盤を回転可能に、かつ昇降可能に支持する支持軸とを具えて、前記ガイド部材の中心部に直立して配設されているものであり、前記切欠センサは、前記円形基板の周縁に設けられた切欠を検知するものであって、前記ガイド部材の内壁に設けられた開口1cから該内壁の内部に入出可能に前進するものであることを特徴とする円形基板の位置決めユニット。

FI (2)：

H01L 21/68 M ,  H01L 21/68 F