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J-GLOBAL ID:200903041871547550
基板収納容器
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
神田 正義 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998160543
Publication number (International publication number):1999354624
Application date: Jun. 09, 1998
Publication date: Dec. 24, 1999
Summary:
【要約】【課題】 加工装置にアクセス可能な基板収納容器の識別部分の小型化・共通化を図り、投資額を抑制し、管理工程を削減できる基板収納容器を提供する。【解決手段】 基板を収納する容器本体1と、容器本体1の開口正面をシールして被覆する蓋体と、容器本体1の底面に螺着されるボトムプレート22とを備え、容器本体1の底面の後方両側を複数の工程識別領域24とし、各工程識別領域24にはリブ25・25Aを突出成形する。また、複数のリブ25・25Aのいずれか一に容器本体1の使用工程を示す別部品の識別突起を選択的に嵌入固定する。さらに、ボトムプレート22をほぼY字形に成形してその後部両側には各工程識別領域24用の回避部31を区画形成する。基板収納容器100の使用工程に応じ、一対のリブ25・25Aのいずれかに識別突起を嵌入固定するので、複数の使用工程に対応する複数種の基板収納容器100を製造する必要がない。
Claim (excerpt):
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口一端面をシールして被覆する蓋体とを含んでなる基板収納容器であって、上記容器本体の底面の一部に複数の工程識別領域を形成して各工程識別領域には取付手段を設け、この複数の取付手段の一又は複数箇所に上記容器本体の使用工程を示す別部品の識別部材を選択的に設け、上記底面には各工程識別領域用の回避部を形成したことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2):
FI (2):
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
Patent cited by the Patent:
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