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J-GLOBAL ID：200903041883051444

半導体装置及びその製造方法

Inventor： 堀田 勝之 ,  黒井 隆 ,  北澤 雅志
Applicant, Patent owner： 株式会社ルネサステクノロジ
Agent (3)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003038056
Publication number (International publication number)：2004247656
Application date： Feb. 17, 2003
Publication date： Sep. 02, 2004
Summary：

【課題】ゲート電極に接続されるコンタクトプラグとソース・ドレイン領域とが電気的にショートすることを回避し得る、半導体装置及びその製造方法を得る。【解決手段】フォトレジスト8で覆われることによってエッチングされなかった部分のポリシリコン膜7として、平板型のポリシリコン膜10が形成される。ポリシリコン膜10は、素子分離絶縁膜2の第1部分上に形成されている。また、ポリシリコン膜10は、ポリシリコン膜9に接続されている。コンタクトプラグ24は、ポリシリコン膜10上に形成される。その結果、コンタクトプラグ24とドレイン領域5及びソース領域6とが電気的にショートすることを回避できる。【選択図】 図6

Claim (excerpt)：

半導体基板と、 前記半導体基板の主面内に部分的に形成され、素子形成領域を規定する素子分離絶縁膜と、 前記素子形成領域内における前記半導体基板の前記主面の一部と、該一部に繋がる前記素子分離絶縁膜の主面の一部とを掘り下げることによって形成された凹部と、 前記半導体基板の第1領域内に形成され、ゲート構造、第1のソース・ドレイン領域、及び第2のソース・ドレイン領域を有する第1のトランジスタと を備え、 前記素子形成領域内における前記半導体基板は、前記凹部が形成されている第1部分と、前記凹部が形成されていない第2部分とを有しており、 前記素子分離絶縁膜は、前記凹部が形成されている第1部分と、前記凹部が形成されていない第2部分とを有しており、 前記半導体基板の前記第2部分の側面内に、チャネル形成領域が規定されており、 前記第1のソース・ドレイン領域及び前記第2のソース・ドレイン領域は、前記チャネル領域を挟んで互いに対向しており、 前記ゲート構造は、前記半導体基板の前記第2部分の前記側面及び前記素子分離絶縁膜の前記第2部分の側面に接して、前記半導体基板の前記第1部分上及び前記素子分離絶縁膜の前記第1部分上に延在して形成されている、半導体装置。

IPC (5)：

H01L21/8234 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/088 ,  H01L27/108 ,  H01L29/78

FI (8)：

H01L27/08 102E ,  H01L29/78 653B ,  H01L27/10 671A ,  H01L27/10 621C ,  H01L29/78 301X ,  H01L27/10 681F ,  H01L27/08 102H ,  H01L27/08 102C

F-Term (95)：

5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048BA01 ,  5F048BB06 ,  5F048BB20 ,  5F048BC03 ,  5F048BC06 ,  5F048BC18 ,  5F048BC19 ,  5F048BC20 ,  5F048BD01 ,  5F048BD07 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BG13 ,  5F048CB07 ,  5F048CB08 ,  5F048DA09 ,  5F048DA27 ,  5F083AD03 ,  5F083AD10 ,  5F083AD31 ,  5F083AD48 ,  5F083AD49 ,  5F083GA06 ,  5F083GA27 ,  5F083JA40 ,  5F083MA06 ,  5F083MA15 ,  5F083MA17 ,  5F083MA20 ,  5F083NA01 ,  5F083PR06 ,  5F083PR09 ,  5F083PR29 ,  5F083PR36 ,  5F083PR39 ,  5F083PR40 ,  5F083PR42 ,  5F083PR44 ,  5F083PR52 ,  5F083PR54 ,  5F083ZA04 ,  5F083ZA05 ,  5F083ZA06 ,  5F140AA14 ,  5F140AA24 ,  5F140AB01 ,  5F140AB09 ,  5F140AC32 ,  5F140BA01 ,  5F140BB04 ,  5F140BC06 ,  5F140BE07 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF42 ,  5F140BF43 ,  5F140BF44 ,  5F140BF47 ,  5F140BF51 ,  5F140BF60 ,  5F140BG08 ,  5F140BG14 ,  5F140BG27 ,  5F140BG37 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH02 ,  5F140BH05 ,  5F140BH15 ,  5F140BH25 ,  5F140BH30 ,  5F140BH47 ,  5F140BH49 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK08 ,  5F140BK13 ,  5F140BK26 ,  5F140BK27 ,  5F140BK30 ,  5F140BK39 ,  5F140CA03 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20 ,  5F140CF05