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J-GLOBAL ID：200903041920193939

パーティクルの測定方法

Inventor： 新田見 憲二 ,  倉知 郁生
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 清水 守 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992010413
Publication number (International publication number)：1993206235
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 パーティクルがレーザービーム内に入ってから出ていくまでに生じる光量の強度分布の変化を、CCD受光素子によって受光するようにしたことにより、レーザービーム自体の強度分布が生じる検出領域のどの位置にパーティクルが入っても、パーティクルの大きさの検知に支障が生じないようにする。【構成】 散乱光を受光してパーティクルを検知するパーティクルの測定方法において、パーティクル17にレーザービームを照射して、その時に生じる散乱光をCCD受光素子14で受光し、パーティクル17が検出領域に入り出て行くまでの散乱光量の強度分布の時間と位置に対する変化に基づいてパーティクル速度と粒子の大きさとを求める。

Claim (excerpt)：

散乱光を受光して、パーティクルを検知するパーティクルの測定方法において、(a)パーティクルにレーザービームを照射してその時に生じる散乱光をCCD受光素子で受光し、(b)パーティクル速度と粒子の大きさとをパーティクルが検出領域に入り出て行くまでの散乱光量の強度分布の時間と位置に対する変化に基づいて求めることを特徴とするパーティクルの測定方法。