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J-GLOBAL ID：200903041921422958

光計測装置

Inventor： 須山 本比呂 ,  河合 克彦 ,  森田 哲家 ,  大庭 弘一郎
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169841
Publication number (International publication number)：2001004445
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 入射する光束の光量を正確に計測できる光計測装置を提供する。【解決手段】 光計測装置10は、入射した光子数に応じた出力信号を出力する光子検出部12と、1つの光子が入射した場合に光子検出部12から出力される出力信号の継続時間よりも小さい周期を有する周期信号を生成するタイミング信号発生回路14と、タイミング信号発生回路14によって生成された周期信号に基づいて光子検出部12から出力された出力信号をA/D変換するA/D変換器16と、A/D変換器16によってA/D変換された出力信号を加算する加算器18と、加算器18によって加算された出力信号に基づいて光子検出部12に入射した光子数を計数するCPU20とを備えて構成される。光子検出部12は、光子を検出するHPD24と、HPD24からの出力信号を増幅するTZアンプ26とを備えている。

Claim (excerpt)：

入射する光束の光量に応じた光電子を放出し、該光電子の数に応じた出力信号を出力する光検出手段と、1つの光電子が放出された場合に前記光検出手段から出力される出力信号の継続時間よりも小さい周期を有する周期信号を生成する周期信号生成手段と、前記周期信号生成手段によって生成された前記周期信号に基づいて前記光検出手段から出力された前記出力信号をA/D変換するA/D変換手段と、前記A/D変換手段によってA/D変換された前記出力信号を加算する加算手段と、前記加算手段によって加算された前記出力信号に基づいて前記光検出手段に入射した光束の光量を算出する光量算出手段とを備えたことを特徴とする光計測装置。

IPC (2)：

G01J 1/44 ,  H01L 31/10

FI (2)：

G01J 1/44 L ,  H01L 31/10 G

F-Term (14)：

2G065AA04 ,  2G065AB04 ,  2G065AB11 ,  2G065BA09 ,  2G065BC12 ,  2G065BC22 ,  2G065BC28 ,  2G065BD02 ,  2G065BE01 ,  2G065DA08 ,  5F049MA07 ,  5F049NA20 ,  5F049NB07 ,  5F049UA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• パルス光測光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-030521   Applicant：株式会社分子バイオホトニクス研究所
• 特開昭64-088390