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J-GLOBAL ID：200903041930231316

ライン異常判定方式

Inventor： 坂本 勉 ,  下社 貞夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992052227
Publication number (International publication number)：1993253797
Application date： Mar. 11, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は薄膜製品製造に関し、製品の規格値と加工値の比較、または設備の各パラメータの設定値から製品の予測加工値を算出し、それを加工実測値と比較する、または加工値が一定回数以上増減を続けたと判定する、という3つのアルゴリズムにより設備の異常を即時に検出するものである。【構成】判定用計算機1と設備パラメータ実績データベース6と寸法実測値データベース7から構成され、予測加工値算出式を作成し、該式を用いて設備の設定値から予測加工値を算出し、製品の加工実測値と比較して一定量以上の差が出ると設備の異常を判定する。

Claim (excerpt)：

製品ワークの規格値と加工実測値の差と設備の設定値から予測される予測加工値と加工後の加工実測値の差及び加工実測値の増減傾向の3つの判定アルゴリズムに基づき、設備の異常を判定することを特徴とするライン異常判定方式。

IPC (4)：

B23Q 17/00 ,  B23Q 41/08 ,  G06F 15/21 ,  H01L 21/02