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J-GLOBAL ID:200903041942399131

感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 市之瀬 宮夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991223509
Publication number (International publication number):1993045875
Application date: Aug. 08, 1991
Publication date: Feb. 26, 1993
Summary:
【要約】【目的】 感光性レジスト形成組成物のプリントアウト剤又は光重合性レジスト組成物の光開始剤として用いることができ、特に低出力可視光レーザーによる記録材料に用いられ、高い感度を与える光遊離基発生剤を含有する感光性組成物を提供する。【構成】 一般式IまたはIIで示される2-ハロメチル-5-ビニル-1,3,4-オキサジアゾール化合物、または一般式IIIで示される光遊離基発生剤を含有することを特徴とする。【化15】
Claim (excerpt):
下記一般式IまたはIIで示される2-ハロメチル-5-ビニル-1,3,4-オキサジアゾール化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(式中、Yは弗素、塩素、臭素、ヨウ素の各原子を表わし、R1及びR2は各々水素原子、アルキル基、アリール基、アセトキシ基、-C2H4Cl又は-CH2OCOOC2H5を表わし、R3は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基又はシアノ基を表わす。m及びnは各々1〜3の整数を表わす。)【化2】(式中、R1は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アルコキシカルボニル基、アリール基、置換アリール基またはアラルキル基を表わし、Aは酸素原子、イオウ原子、セレン原子、テルル原子、アルキルないしはアリール置換された窒素原子、またはジアルキル置換された炭素原子を表わす。Xは含窒素ヘテロ五員環を形成するのに必要な非金属原子群を表わす。Yは一般式IにおけるYと同義である。m及びnは1〜3の整数を表わす。)
IPC (5):
G03F 7/029 ,  B41C 1/05 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027

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