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J-GLOBAL ID：200903041957393245

放射線検出器用フォトダイオードブロックの作製方法

Inventor： 関根 重典 ,  川崎 秀一
Applicant, Patent owner： 日本結晶光学株式会社
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998096157
Publication number (International publication number)：1999295429
Application date： Apr. 08, 1998
Publication date： Oct. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】高い歩留りで、且つ安価なガラスエポキシ基板を用いて、ステムへの良好な取付け作業性で、且つ良好な組立位置決め精度で作製することのできる方法を提供すること。【解決手段】シリコンウェファーに有感部と不感部とを短冊状に交互に形成し且つその不感部の幅をダイシングカッターブレードの幅よりも広くして切断により単チャンネルフォトダイオードを形成し得るようにしたフォトダイオード板を形成し、各チャンネルについて不良の有無を検定し、不良チャンネル以外の部分から所定数又は所定数未満の数のチャンネルを有するフォトダイオードブロックを切り取り、所定数のチャンネルを有するフォトダイオードブロックをそのまま用いるか又は所定数未満の数のチャンネルを有するフォトダイオードブロックを組み合わせて所定数の単チャンネルフォトダイオードからなるフォトダイオードブロックを作製する、所定数の単チャンネルフォトダイオードを有するフォトダイオードブロックの作製方法。

Claim (excerpt)：

所定数の単チャンネルフォトダイオードを有するフォトダイオードブロックの作製方法において、シリコンウェファーに有感部と不感部とを短冊状に交互に形成し且つその不感部の幅をダイシングカッターブレードの幅よりも広くして切断により単チャンネルフォトダイオードを形成し得るようにしたフォトダイオード板を形成し、各チャンネルについて不良の有無を検定し、不良チャンネル以外の部分から該所定数又は該所定数未満の数のチャンネルを有するフォトダイオードブロックを切り取り、該所定数のチャンネルを有するフォトダイオードブロックをそのまま用いるか又は該所定数未満の数のチャンネルを有するフォトダイオードブロックを組み合わせて該所定数の単チャンネルフォトダイオードからなるフォトダイオードブロックを作製することを特徴とするフォトダイオードブロックの作製方法。

IPC (3)：

G01T 1/20 ,  A61B 6/03 320 ,  H01L 31/10

FI (3)：

G01T 1/20 G ,  A61B 6/03 320 S ,  H01L 31/10 A