Pat
J-GLOBAL ID：200903042009480943
ビームプロファイルモニタ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 英俊 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998253398
Publication number (International publication number)：2000082432
Application date： Sep. 08, 1998
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ビームプロファイルモニタにビーム電流の検出機能を持たせること。【解決手段】 イオンビームBの走行方向に対して直角な一方向に長手方向を向けた状態で、ビームBの走行方向と直交する面に沿って並ぶ複数の短冊状の導電板を、それぞれの長手方向に伸びる軸を中心に回動し得るように設ける。複数の導電板は互いに絶縁した状態で設ける。各導電板を回動させて複数の導電板相互間に隙間を形成した状態で、各導電板を流れる電流を検出することにより、イオンビームの広がりを検出し得るようにする。また複数の導電板をビームの走行方向とほぼ直角な方向に向けて複数の導電板相互間の隙間を閉じた状態で、すべての導電板を通して流れる電流の和を検出することによりビーム電流を検出する。
Claim (excerpt)：
イオンビームの中心軸線に沿うビームラインを横切るように配置されて該ビームの断面の広がりを検出するビームプロファイルモニタにおいて、前記ビームラインに対して直角な一方向に長手方向を向けた状態て、該ビームラインと直交する面に沿って前記一方向に対して直角な方向に並ぶように設けられて、互いに絶縁された状態でそれぞれの長手方向に伸びる軸を中心に回動し得るように支持された複数の短冊状の導電板を備え、前記複数の導電板は、それぞれの板面が前記ビームラインとほぼ平行な方向に沿う状態になって相互間に隙間が形成された状態になる開位置と、該相互間の隙間が閉じた状態になる閉位置との間を回動し得るように設けられ、前記複数の導電板が前記開位置にあるときに各導電板を通して流れるビーム電流を個別に検出し得るように各導電板から端子が導出され、前記複数の導電板が前記閉位置にあるときに前記複数の導電板がファラデーカップとしての機能を持つように構成されていることを特徴とするビームプロファイルモニタ。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 37/04 A
, G01T 1/29 A
2G088EE17
, 2G088EE30
, 2G088FF12
, 2G088GG30
, 2G088HH10
, 2G088JJ40
, 5C030AA04
, 5C030AB05
