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J-GLOBAL ID：200903042011451306

熱拡散率と界面熱抵抗の測定方法

Inventor： 馬場 哲也
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000317107
Publication number (International publication number)：2002122559
Application date： Oct. 17, 2000
Publication date： Apr. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 特に非金属物質を含む3層物質内の熱拡散率を正確に、且つ容易に測定可能な方法を得る。【解決手段】 熱物性値が未知の非金属薄膜1を、第1金属薄膜2とその反対側に位置する第2金属薄膜3とにより挟んで3層構造の試料を得る。これらの金属薄膜2,3は各々物性値が既知の同種の物質で同じ厚さに形成したものを用いる。この3層物質を透明基板4上に配置し、図中下方から透明基板4を通してピコ秒光パルスにより第2金属薄膜3の下面を加熱する。照射された光パルスは第2金属薄膜層において1ピコ秒以内に熱に変換され、界面/非金属薄膜層/界面を拡散して反対側の第1金属薄膜2に達する。この第1金属薄膜表面の温度変化を測定することにより、既に本発明者等が特許出願等で提案しているピコ秒サーモリフレクタンス法によって正確に測定することができる。

Claim (excerpt)：

熱物性値が未知の物質の両側に、熱物性値が既知の同種の層が形成された3層からなる物質の熱拡散率と界面熱抵抗の測定方法において、該3層物質の片側をパルス光により加熱するとともに、反対側の過渡的温度上昇を観測することにより熱物性値と界面熱抵抗を同時に測定することを特徴とする熱拡散率と界面熱抵抗の測定方法。

F-Term (8)：

2G040AA01 ,  2G040AB08 ,  2G040BA18 ,  2G040BA26 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02